ASML 确认首批高数值孔径 EUV EXE:5200 出货,将为英特尔 2027 年的 14A 做准备

ASML 确认首批高数值孔径 EUV EXE:5200 出货,将为英特尔 2027 年的 14A 做准备

尽管国际局势可能给未来营收带来不确定性,但荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)依然表示,市场对他们生产的两种核心光刻设备——极紫外(EUV)和深紫外(DUV)机器的需求,今年依然会非常旺盛。

最近,阿斯麦宣布了一个重要进展:他们向客户交付了第一台最新型号的超精密光刻机(High-NA EUV),型号叫EXE:5200。这台机器是专门为大规模生产芯片设计的。阿斯麦还特别提到,他们预计明年(2025年)自家最尖端的EUV业务会增长大约30%。据报道,英特尔是第一个拿到这台新机器的客户,打算用它来制造更先进的芯片。虽然阿斯麦之前也交付过用于测试和研发的早期版本,但这次交付的EXE:5200B标志着这种新技术真正具备了大规模生产的能力。

阿斯麦的老板富凯透露,这台新机器正在英特尔那里安装调试。它的效率非常高,比之前的测试型号快了60%,每小时能处理175片硅片,完全能满足工厂大批量生产的需求。不过,用这种最新机器生产出来的芯片,真正上市还需要几年时间。目前只有英特尔给出了比较明确的计划:他们将在2027年开始小规模试产,2028年实现大规模生产。

其他芯片制造巨头对这项新技术的采用节奏则不同。有报道称,台积电可能会推迟使用这种最新款光刻机。台积电的一位高管表示,他们计划中的2028年量产工艺将跳过这台新机器,继续使用现有的EUV设备。而三星电子虽然还没确定具体时间表,但也在考虑在未来更先进的芯片制造中使用它。

阿斯麦的老板富凯解释说,当前人工智能(AI)的蓬勃发展,正在推动电脑芯片(逻辑芯片)和内存芯片(DRAM)技术的快速更新换代。内存芯片制造商现在和未来都需要用到更多层极紫外光刻技术,这直接拉动了对阿斯麦EUV机器的需求。除了预计明年EUV业务大涨30%,阿斯麦整个公司的销售额明年也有望增长15%左右。

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