海特高新于9月4日在互动平台上宣布,旗下珠海华芯微电子有限公司(简称华芯微电子)已成功建立国内首条6英寸(6寸)化合物半导体商用生产线,这标志着中国在化合物半导体领域迎来重要突破。该6寸砷化镓(GaAs)晶圆生产线已正式调通,成功产出第一片2微米工艺HBT晶圆,并计划于2025年上半年实现大规模量产。
华芯微电子开发了包括GaAs有源及无源制程、氮化镓(GaN)功率芯片和射频功放芯片制程、光电感知芯片制程以及碳化硅(SiC)功率芯片制程等多种成熟工艺,覆盖了化合物半导体的多个关键技术方向,为国内半导体产业的自主创新打下坚实基础。该生产线主要服务于微波集成电路(MMIC)及VCSEL芯片生产,面向5G通信、雷达、光通信和新能源领域需求。
格创·华芯半导体园区作为项目载体,由格力集团投资33.87亿元打造,是广东省重点项目和珠海市产业支柱项目,体现了地方政府和行业对射频及化合物半导体产业的战略支持。海特高新对此表示高度期待,将持续关注行业最新技术发展和市场动态。
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