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诺奖技术助推FIB新革命:zeroK公司推出高性能聚焦离子束系统

聚焦离子束(FIB)技术作为微观世界探索的利器,正经历着一场前所未有的技术革命。

这一革命的核心,正是zeroK公司推出的基于极低温铯离子源(Cs+ LoTIS)的新一代高性能聚焦离子束系统——FIB: ZERO(Cs+ LoTIS)。

该系统不仅融合了前沿的离子束技术,更借助了曾获诺贝尔奖的激光冷却技术,为FIB技术的发展开辟了全新的道路。

一、FIB技术:从半导体到多领域的跨越

聚焦离子束(FIB)技术,自诞生以来,便以其独特的优势在半导体制备领域崭露头角。

通过将高能离子流聚焦成细束,FIB技术能够对样品进行精密操作,无论是微观结构的切割、成像还是修复,都展现出了极高的精度和效率。

现在FIB技术的应用范围已不再局限于半导体领域,而是迅速扩展到材料科学、纳米加工以及高分辨率成像等多个前沿领域。

在材料科学中,FIB技术被用于研究材料的微观结构和性能,为新材料的设计和研发提供了有力支持。

在纳米加工领域,FIB技术以其高精度的加工能力,成为制造纳米级器件和结构的不可或缺的工具。

而在高分辨率成像方面,FIB技术更是以其独特的成像效果,为科研人员提供了观察微观世界的“显微镜”。

不过传统的基于镓(Ga+)离子源的FIB系统局限还是太多。

镓离子源的强度相对较低,这在一定程度上限制了FIB技术的加工效率和精度。

而镓离子源在使用过程中容易对样品造成污染,这对于需要保持样品纯净度的研究领域来说,是一个巨大的障碍。

所以有些科研人员已经开始探索基于轻元素离子源(如氦He+和锂Li+)的FIB技术了。虽说这些轻元素离子源在一定程度上提高了空间分辨率和减少了样品损害,可类似氦离子源这些还是具有较低的损伤性,而且成像效果相对较差,而锂离子源则面临着束流不稳定和聚焦精度不足等问题。

、Cs+ LoTIS:新一代高性能离子源技术的诞生

正是在这样的背景下,zeroK公司研发出了基于极低温铯离子源(Cs+ LoTIS)的新一代高性能聚焦离子束系统——FIB: ZERO(Cs+ LoTIS)。这一技术的诞生,不仅标志着FIB技术的一次重大突破,更预示着未来可以进行更微观的世界探索。

Cs+ LoTIS技术的核心在于其极低温的离子源环境。通过运用曾获诺贝尔奖的激光冷却技术,zeroK公司将铯离子源的温度降低至前所未有的~10μK水平。这一极低的温度环境有效减少了离子束中的随机运动,从而实现了更好的聚焦精度、更稳定的束流特性以及更好的低电压表现。

具体来说,FIB: ZERO(Cs+ LoTIS)系统具有以下几大优势:

  • 更高的聚焦精度:由于离子束中的随机运动被大幅减少,FIB: ZERO系统能够实现更高的聚焦精度,这对于需要高精度加工的纳米级器件和结构来说至关重要。
  • 更稳定的束流特性:极低温环境使得离子束的束流特性更加稳定,从而提高了加工的一致性和可靠性。
  • 更好的低电压表现:在低电压条件下,FIB: ZERO系统仍然能够保持优异的聚焦效果和加工能力,这对于需要低电压操作的敏感样品来说具有重要意义。
  • 更清晰的成像效果:得益于极低温离子源的高稳定性和低噪声特性,FIB: ZERO系统能够提供更清晰的成像效果,为科研人员提供了更加直观和准确的微观世界观察工具。

随着FIB: ZERO(Cs+ LoTIS)系统的推出,FIB技术领域正经历着一场前所未有的革命。这一革命不仅体现在技术层面的突破和创新,更体现在应用层面的拓展和深化。

例如,在生物医学领域,FIB: ZERO系统被用于研究生物分子的微观结构和功能;在环境科学中,该系统则可以被用于监测和分析环境中的微观污染物等等……

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