诺睿科光学关键尺寸(OCD)量测设备成功交付国内客户

32度域获悉,上海诺睿科半导体设备有限公司(简称“诺睿科”)近日发布全新产品系列:光学关键尺寸量测(Optical Critical Dimension: OCD)设备NKShape,并成功交付国内客户。NKShape系列产品专为半导体先进工艺开发,适用于Planar Gate,FinFET, DRAM, 3D-NAND等复杂结构的关键尺寸量测。

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