32度域获悉,中微半导体设备(上海)股份有限公司与南昌中微半导体设备有限公司共同拥有的发明专利“一种化学气相沉积装置及其清洁方法”(专利号:ZL201510218357.1),荣获第二十五届中国专利奖银奖。获奖的发明专利是中微公司MOCVD设备产品的基础核心专利。据介绍,中微公司的氮化镓基LED生产用MOCVD设备的市场占有率在过去几年内跃居全球第一,市场占有率超过70%。
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32度域获悉,中微半导体设备(上海)股份有限公司与南昌中微半导体设备有限公司共同拥有的发明专利“一种化学气相沉积装置及其清洁方法”(专利号:ZL201510218357.1),荣获第二十五届中国专利奖银奖。获奖的发明专利是中微公司MOCVD设备产品的基础核心专利。据介绍,中微公司的氮化镓基LED生产用MOCVD设备的市场占有率在过去几年内跃居全球第一,市场占有率超过70%。